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什么是多级罗茨式干真空泵?

更新时间:2024-06-26      浏览次数:102

什么是多级罗茨式干真空泵?

多级罗茨真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。


多级罗茨式干式真空泵的特点

 罗茨干式真空泵是集成了多级机械增压泵的干式真空泵。使用三叶转子的罗茨型干真空泵能够通过将多个转子连接到单个轴来将空气压缩和排气至大气压。转子外壳内不使用油或其他密封液体,可实现清洁排气。齿轮和轴承中使用油进行润滑,但密封结构的设计是为了防止油进入壳体。

【优点】可以获得洁净的真空,从常压到极限压力都可以使用。

【缺点】在容积效率方面,不如接触式泵。


多级罗茨干式真空泵的主要应用领域

 FPD制造设备、半导体制造设备、真空蒸馏、净化脱气、灭菌、干燥、脱水、消毒等。


多级罗茨式干式真空泵的机构

气体由高速旋转的转子输送

 该泵有两个三叶转子(旋转体),安装在一个称为外壳的盒子中,它们通过一对齿轮以相同的频率沿相反的方向旋转。转子彼此不接触,或者转子与壳体不接触,并且在保持小间隙的同时旋转以传送和压缩气体。转子具有多级结构,将其压缩至大气压,并将其排放到大气中。


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