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TAISEI大成技研 气态除粉过滤设备

描述:TAISEI大成技研 气态除粉过滤设备
TRAPACK是一种粉末去除捕集器,可去除半导体和液晶制造设备废气中的反应产物(细粉)。结构有涡流旋流吸附型、磁性元件型(Trapac Element)以及两者结合的组合型三种。特别是,组合型排除了蚀刻设备和CVD设备发出的亚微米细粉

  • 产品型号:TU-KN100
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-07
  • 访问量:98
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

TAISEI大成技研 气态除粉过滤设备

TAISEI大成技研 气态除粉过滤设备

大成技研株式会社提供的“气体粉末去除装置"主要去除半导体、液晶制造设备(离子注入、CVD、蚀刻等)中排出的气体反应生成物(微细粉末)。
特别是,通过旋转涡流吸附和高性能磁性元件,可以排除离子注入和CVD设备中产生的1μm以下的反应产物。该装置在元件内几乎没有压力损失,可用于真空泵的前级和后级,是一种创新的粉末捕集器,可以轻松处理现有过滤器无法去除的细粉末。它有望显着减少维护工时并提高生产率。

TRAPACK是一种粉末去除捕集器,可去除半导体和液晶制造设备废气中的反应产物(细粉)。结构有涡流旋流吸附型、磁性元件型(Trapac Element)以及两者结合的组合型三种。特别是,组合型排除了蚀刻设备和CVD设备发出的亚微米细粉。

清洁废气管道  减少前线阀门的维护  真空泵故障预防     提高生产力  减少前线维护 


  外观结构   特征 

    

去除细小反应产物(细粉) 


单元密度低,网格空隙大 


粉末分层在元件的表面和内部。 

   主要用途   规格 

   注入     ・一次元件/Trapac元件 

   蚀刻     ・次要元素/无 

          安装位置/真空、排气 

   TU-KN100

(元件型)  主要用途:通用

元件类型:DL

端口尺寸:NW25

尺寸:D90mm x H195mm

重量:1.9kg 

  TU-KN200

(元件型)  主要用途:通用

元件类型:EL

端口尺寸:NW40

尺寸:D140mm x H210mm

重量:4.6kg 

  TU-KN500

(元件型)  主要用途:通用

元件类型:GL

端口尺寸:NW40

尺寸:D210mm x H260mm

重量:10kg 

  TU-KN500W

(元件型)  主要用途:通用

元件类型:HL

接管尺寸:NW40

尺寸:D210mm x H390mm

重量:13kg 

  TU-200

(元件型)  主要用途:

植入 元件类型:EL

连接尺寸:NW25

尺寸:D210mm x H210mm

重量:5.3kg 

  TU-250

(元件型)  主要用途:

植入 元件类型:FL

连接尺寸:NW40

尺寸:D210mm x H295mm

重量:6.5kg 

  TU-500

(元件型)  主要应用:厂内/蚀刻

元件类型:GL

连接直径:NW40

尺寸:D300mm x H267mm

重量:10.0kg 

  TU-500W

(元件型)  主要应用:植入/蚀刻

元件类型:HL

连接尺寸:NW40、NW50

尺寸:D300mm x H415mm

重量:13kg 

  TU-1000

(元件型)  主要应用:就位/蚀刻

元件类型:GL

连接尺寸:NW40、NW50

尺寸:D300mm x H555mm

重量:16.5kg 

   页首 

  TRAPPACK(Uzu型) 

这是一种气体除粉装置,是 Trapac 的进一步发展,配备了漩涡型元件。 

  外观结构   特征 

    

由于螺旋结构,粉末不会长时间经历压力损失 


几乎所有粉末都被涡流数和涡流螺距的组合拒之门外。 


粉末分层在安装的涡流元件的表面上。 

  ・主要用途 / CVD、蚀刻 ・一次元件 / 涡流元件

・二次元件 / 无 ・安装位置 / 真空、排气 

  TU-50LM /LMJ

(涡流型)  主要用途:蚀刻/CVD

元件类型:ASD-50 涡流

连接尺寸:NW40、NW50

尺寸:□370mm x H707mm

重量:53kg / 68kg 

  TU-65LM /LMJ

(涡流型)  主要用途:蚀刻/CVD

元件类型:ASD-65 涡流

连接尺寸:NW40、NW50

尺寸:□400mm x H1013mm

重量:94kg / 99kg 

  TU-85LM /LMJ

(涡流型)  主要用途:蚀刻/CVD

元件类型:ASD-85 涡流

连接尺寸:NW40、NW50

尺寸:□430mm x H1064mm

重量:100kg / 115kg 

  TU-95LM /LMJ

(涡流型)  主要用途:蚀刻/CVD

元件类型:ASD-95 涡流

连接尺寸:NW40、NW50

尺寸:□485mm x H1064mm

重量:145kg / 160kg 

  TU-105LM /LMJ

(涡流型)  主要用途:蚀刻/CVD

元件类型:ASD-105 涡流

连接尺寸:NW40、NW50

尺寸:□535mm x H1264mm

重量:180kg / 240kg 

   页首 

  TRAPPACK(组合型) 

TRAPACK的进一步进化,配备组合型元件(涡流型+元件型)的气态除粉装置。 

  外观结构   特征 

    

去除细小反应产物(细粉) 


单元密度低,网格空隙大 


粉末在螺旋和元件部分分层。 

  ・主要用途 / CVD、蚀刻 ・一次元件 / 涡流元件

・二次元件 / Trapak 元件 ・安装位



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